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表面陶瓷化pcvd技術(shù)

發(fā)布:2008-11-26 10:35:17  來源: 科技在線 [字體: ]

  PCVD(等離子體輔助化學(xué))小型實(shí)驗(yàn)室設(shè)備已有研制,但僅為直流等離子體電源。模具要求大型工業(yè)設(shè)備,須配備脈沖直流電源,而國內(nèi)迄今尚未研制。國外僅日本和奧地利等國擁有此類工業(yè)設(shè)備。西安交大等單位完成的這一項(xiàng)目,解決了脈沖直流PCVD制備硬質(zhì)薄膜的若干理論和應(yīng)用技術(shù),突破了工業(yè)設(shè)備制造的電源瓶頸和工藝穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計,打破了國外技術(shù)壟斷,降低了設(shè)備成本?蓱(yīng)用于現(xiàn)代制造業(yè),主要是機(jī)械零部件的成型和加工,如數(shù)控機(jī)床刀具、集成電路高速鉆頭、航空發(fā)動機(jī)葉片等,同時也可應(yīng)用于各類機(jī)械配件的加工,如氣缸活塞、摩擦盤銷、傳動件和聯(lián)結(jié)件等.

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