摘要 本發(fā)明為一種電子工業(yè)用氧化鋯窯具及制造方法，是以電熔氧化鋯原料為基，加入氧化鈣，氧化釔為穩(wěn)定劑，經(jīng)電弧爐煅燒，然后經(jīng)球磨、振磨、干壓或注漿成型，干燥后在1550℃-1650℃燒成為本發(fā)明產(chǎn)品，以所加的穩(wěn)定劑不同有兩種組成不同產(chǎn)品，用氧化鈣為穩(wěn)定劑時，ZrO290-95%, CaO3.5-4.5%；以氧化釔為穩(wěn)定劑時，窯具的化學(xué)組成為ZrO288-93％，Y2O36-10%,此外，兩種產(chǎn)品中各有TiO20.1-0.4％, Al2O30.4-1.2%, SiO20.4-1.2%, Fe2O3<0.2%。 申請人 田維 地址 526060廣東省肇慶市端州三路翠崗工業(yè)區(qū)A棟