該技術(shù)是動、靜態(tài)結(jié)合的高純氮化硅粉體燒結(jié)工藝,其目的是使?fàn)t內(nèi)反應(yīng)氣體保持一定的比例關(guān)系;提高控制精度,在靜態(tài)時(shí)控制反應(yīng)速度,動態(tài)時(shí)換氣。采用該技術(shù)生產(chǎn)的氮化硅粉性能指標(biāo)已經(jīng)接近目前德國M11粉,超過日本Danka粉,產(chǎn)品已經(jīng)出口美國。
該產(chǎn)品純度高、顆粒細(xì)度小、比表面積大,燒結(jié)活性及燒結(jié)體的性能已達(dá)到國際水平:結(jié)晶相純度α相=95%,游離Si≤0.5%,Fe2O3≤0.1%, CaO≤0.05%,O≤1.5%,平均粒度D50≤0.35μm,粒徑分布D90=0.9μm,D99=1.6μm,比表面積BET≥11.5m2/g,粒度與日本宇部興產(chǎn)株式會社(UBE)粉相近,但是差別小且更易于膠態(tài)成型。該產(chǎn)品主要用于制造生產(chǎn)耐磨、耐高溫工件,如用于機(jī)加工陶瓷刀具、耐熱銷、摩擦環(huán)、導(dǎo)彈雷達(dá)罩、軸承滾珠等。